8626 型质量流量控制器 (MFC) 适用于大量气体的质量流量调控。直接位于气流中的 Inline 热传感器能够达到非常快的响应速度。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备的控制特性。8626 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口，既提供模拟标准信号，

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